(2013年4月1日)

執行役員システム開発本部副本部長兼システム開発センター長（東京エレクトロンソフトウェア・テクノロジーズ社長） 田原計志 　>

同ＴＥＬテクノロジーセンター仙台担当兼ＴＥＬテクノロジーセンター仙台センター長（東京エレクトロン技術研究所社長） 川上聡 　>

機構改革

(1)製造本部を生産本部に改称
(2)製造本部のコーポレート調達本部を廃止し、生産本部に調達・生産企画室を設置
(3)システム開発本部システム開発センターを新設
(4)ＴＥＬテクノロジーセンター仙台を新設

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