(2022年10月1日)
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TokyoElectronAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronKorea理事兼TokyoElectronTaiwan董事、コーポレートオフィサー兼専務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TELVentureCapitalMemberoftheBoard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
TELManufacturingandEngineeringofAmericaMemberoftheBoard兼TokyoElectronShanghai董事兼TokyoElectronSingaporeMemberoftheboard、コーポレートオフィサー兼専務執行役員GlobalSales本部長兼フィールドソリューション事業本部長、大久保豪
TokyoElectronUSHoldingsMemberoftheBoard兼TELVentureCapitalMemberoftheBoard、執行役員GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務部長、川本弘
TokyoElectronShanghai董事、中原哲也
TELManufacturingandEngineeringofAmericaMemberoftheBoard、CorporateInnovation本部副本部長、北野淳一
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(2021年7月1日)
ITユニット副ユニットGM、峰島孝之
フィールドソリューション一部長、宇城満山
経理部長、松村晃文
法務部長、真藤誠
（フィールドソリューション一部長）執行役員 FS BUGM、中原哲也
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(2021年6月17日)
執行役員、FSBUGM兼フィールドソリューション一部長、中原哲也
執行役員GlobalSales本部副本部長、神永文彦
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(2015年10月1日)
フィールドソリューション一（フィールドソリューション）神永文彦
フィールドソリューション二（フィールドソリューション部部長代理）中原哲也
ＣＳＲ推進室長、総務・、阿曽達也
経営戦略室長（経営戦略室副室長）川本弘
山梨事業所長、飯室俊一
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