(2016年4月1日)
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長、取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
顧問（執行役員ＰＶＥ担当兼ＰＶＥ部長）笹原信一
顧問（常務執行役員革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長）保坂重敏
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長（コーポレート開発部門副担当兼技術開発センター長）常務執行役員、保坂重敏
執行役員先端半導体技術部門担当兼ＢＵプロジェクト兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング（ＳＰＥマーケティング部門担当兼ＳＰＥマーケティング兼パターニングソリューションプロジェクトリーダー）関口章久
製品開発センター長（技術開発センター副センター長）川上聡
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(2016年1月1日)
開発・生産担当（倫理・品質担当兼開発・製造統括本部長兼生産本部長）副社長、北山博文
代表取締役社長、CEO事業本部長（代表取締役副社長、COO事業推進統括本部長ビジネスユニット本部長）、河合利樹
コーポレート管理本部長兼経理・財務・知的財産担当（ファイナンス・リーガル本部長）取締役兼常務執行役員、堀哲朗
開発・生産本部長兼成膜担当（開発・製造統括副本部長兼ＳＰＥ開発副本部長）取締役兼常務執行役員、佐々木貞夫
開発・生産本部副本部長兼コーポレート開発部門担当（ＳＰＥ開発本部長）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当（開発・製造統括副本部長）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
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(2014年5月1日)
ＴＥＬベンチャーキャピタルボードオブディレクター、常務執行役員、保坂重敏
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