(2015年4月1日)
Ｒ＆Ｄ本部担当（Ｒ＆Ｄ本部長）上級執行役員、林宏樹
光源事業部副事業部長、執行役員マーケティング＆イノベーション部門長、小曽根達悦
Ｒ＆Ｄ本部長（Ｒ＆Ｄ本部副本部長兼光源事業部マーケティング＆イノベーション部門副部門長）執行役員、吉岡正樹
光源事業部長（光源事業部副事業部長）同営業部門長、内藤宏治
経営本部人事、丸岡史明
Ｒ＆Ｄ本部プロセス開発（固体光源事業部モジュール技術）千賀岳人
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(2013年4月1日)
経営本部担当（ＣＦＯ経営本部長）取締役兼専務執行役員、大島誠司
事業本部品質保証センター担当、取締役兼常務執行役員、多田龍太郎
経営本部長、上級執行役員事業本部事業企画・、小林敦之
上級執行役員（執行役員）事業本部第一製造事業部長、山口敬造
事業本部第一事業部副事業部長（第一事業部次長兼露光ＢＵ長）執行役員、井上豊治
執行役員、事業本部第二製造事業部、長辻宏二
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