(2021年4月1日)
専務広報・IR担当（常務）最高財務責任者、近藤洋一
シニアフェロー（最高技術責任者）常務、灘原壮一
常務執行役員事業企画・IM事業担当兼コーポレートマーケティング室長（SCREENセミコンダクターソリューションズ執行役員兼SCREENSPEGermany社長）大塚純二
常務執行役員（上席執行役員）石川義久
上席執行役員（執行役員）吉岡正喜
経理・財務室経理部長、執行役員経理・財務室長、宮川明彦
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(2019年6月25日)
会長（社長兼最高経営責任者）垣内永次
社長兼最高経営責任者（SCREENファインテックソリューションズ会長）廣江敏朗（ひろえ　としお）
常務（取締役）安藤公人
取締役、高須秀視
常任監査役（執行役員経理・財務室長）太田祐史
顧問（常任監査役）宮脇達夫
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(2019年4月1日)
コンプライアンス担当（CSR経営担当）専務、南島新
サステナブル経営担当（経営戦略担当）常務、沖勝登志
上席執行役員経営戦略担当（執行役員経営企画室長）石川義久
滋賀地区担当（総務・人事室長）執行役員、河原林正
執行役員総務・人事室長、中尾光一
執行役員CTO付特命担当（第二技術開発室長）木瀬一夫
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(2016年4月1日)
最高経営責任者（最高執行責任者）社長、垣内永次
専務ＣＳＲ経営担当（常務ＣＳＲ・総務・人事担当）南島新
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