(2018年7月1日)
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＩｎｎｏｖａｔｉｏｎ本部長（事業本部長）社長兼ＣＥＯ、河合利樹
生産技術部門担当（第二開発生産本部長兼調達・生産企画室長）取締役兼専務執行役員、北山博文
人事・総務・ＣＳＲ本部長兼法務・コンプライアンス本部長（人事・総務本部長兼コンプライアンス担当）取締役兼常務執行役員長、久保達也
フィールドソリューション事業本部長（ＦＳＢＵＧＭ）取締役兼常務執行役員、春原清
ＣｏｒｐｏｒａｔｅＭａｒｋｅｔｉｎｇ担当（グローバル・フィールド本部統括本部長）常務執行役員、堤秀介
ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部長兼ＧｌｏｂａｌＳａｌｅｓ本部ＧＭ（グローバル・フィールド本部統括副本部長兼リージョン戦略企画本部長）常務執行役員、大久保豪
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(2018年4月1日)
取締役（代表取締役兼ＣＦＯ内部統制・コンプライアンス担当兼ファイナンス・リーガル・ＩＴ本部長）専務執行役員、堀哲朗
内部統制・ＣＳＲ・コンプライアンス担当（ＣＳＲ推進・人事・総務担当）取締役兼常務執行役員人事・総務本部長長、久保達也
知的財産担当、執行役員、佐々木健夫
ＴＦＦ営業部長、執行役員ＴＦＦＢＵＧＭ部長、多田新吾
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズに出向（ＴＦＦ営業部長）水上幸治
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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(2012年4月1日)
有機ＥＬ・ＦＰＤ・ＰＶＥ担当、取締役兼専務執行役員、鷲野憲治
東京エレクトロンシンガポールディレクター、同兼専務執行役員ＳＰＥ営業統括本部長兼欧米営業本部長、伊東晃
同、同兼執行役員コーポレート管理副本部長、原田芳輝
ＴＥＬベンチャーキャピタルディレクター、取締役、松岡孝明
ＣＴＢＵＧＭ（ＳＰＳＢＵＧＭ）執行役員、池田世崇
ＳＰＳＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ兼ＳＤＢＵＧＭ）同、河合利樹
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