(2017年3月31日)
顧問（執行役常務CIO 兼 CTrO）中島隆一
退任（執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長兼笠戸地区設計・生産本部長）大本博秀
退任（執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長）日立ハイテクサイエンス社長、岡田務
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(2014年4月1日)
執行役専務営業統括本部長兼ＣＭＯ（執行役常務）科学・医用システム事業統括本部長、梶本敏夫
同ＣＨＲＯ兼ＣＲＯ（日立製作所執行役常務）御手洗尚樹
同経営戦略本部長兼ファインテックシステム業務本部長兼ＣＳＯ（日立ハイテクノロジーズアメリカ社長）宮崎正啓
執行役常務電子デバイスシステム事業統括本部長（執行役電子デバイスシステム事業統括本部評価システム設計開発本部長）木村勝高
同商事統括本部長（日立ハイテクノロジーズヨーロッパ社長）長尾英則
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、笠戸地区設計・生産本部長、大本博秀
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(2013年4月1日)
日立ハイテクフィールディング社長（モノづくり統括本部長兼モノづくり統括本部那珂地区生産本部長）執行役常務、杉山秀司
モノづくり統括本部長兼ファインテックＳ業務本部長（ファインテックＳ事業統括本部副統括本部長兼設計開発本部長）執行役、富岡秀起
監査室部長（財務本部埼玉経理）四元稔治
経営戦略本部ライフインフォマティクスセンタ長（研究開発本部企画）飯泉孝
副本部長、人事総務企画・、疋田邦雄
人財開発センタ長（那珂総務）伊藤信也
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(2011年4月1日)
監査室長（財務本部経理）中島隆一
ＣＳＲ本部長兼法務・ＣＳＲ兼取締役会室長（日立製作所法務・コミュニケーション統括本部ブランド・コミュニケーション本部副本部長）須藤雅紀
同本部コーポレート・コミュニケーション、加藤弘之
財務本部経理（日立製作所財務統括本部財務三兼営業統括本部特約店センタ長兼業務本部長）宇野俊一
執行役常務情報システム本部長兼ＣＩＯ（執行役）財務本部長、西田守宏
情報Ｓ本部グローバルＩＴ、卜部良基
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