(2024年4月1日)
執行役員、人事部長、高月秀文
執行役員（企画業務部長）生産・物流ユニット長、宇杉晃一
執行役員、経営企画・ICTユニット長兼OneTNSC推進部長、丹羽善之
執行役員、東北支社長、吉田秀
執行役員、大陽日酸ＪＦＰ代表取締役社長、渡辺忠治
中四国支社長（ガスエンジニアリングセンター供給技術部長）佐々木丈志
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(2023年4月1日)
常務執行役員（執行役員）イノベーションユニット長、小林邦裕
常務執行役員電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット長（執行役員電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長）相田智之
常務執行役員工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長（執行役員中部支社長）飯塚浩幸
プラントエンジニアリングセンター長（オンサイト・プラントユニット長兼プラントエンジニアリングセンター副センター長）執行役員、柳川徹
中部支社長（経営企画・ICT・ユニット長）執行役員、竹内聡一郎
執行役員、メディカルユニット長、古海敏恵
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(2023年4月1日)
工業ガスユニットガス事業部長（ガス営業部長）中村悟郎
工業ガスユニットガス事業部ガス営業部長、鈴木秀臣
電子機材ユニット電子機材ガス事業部長（電子機材ガス営業部長）千葉賢治
電子機材ユニット電子機材ガス事業部国内営業部長、大倉寛信
電子機材ユニット電子機材ガス事業部特殊ガス技術部長、技術統括ユニットグローバル技術統括部技術支援部長、柿木一大
電子機材ユニット電子機材ガス事業部企画部長、技術開発ユニットつくば開発センターエレクトロニクス開発部長、富田修康
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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