(2019年6月下旬)
取締役、川浦久幸
監査役、高木道久
顧問（取締役）森本安和
顧問（監査役）榎泰邦
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(2018年4月1日)
ＦＡ検査装置カンパニー・開発本部担当兼開発本部長（検査装置担当兼ＦＡ検査装置カンパニー長）取締役、森本安和
経営管理本部担当兼知財法務部長（管理・企画担当兼経営管理本部長）取締役、中村昭秀
ＦＡ検査装置カンパニー長（ＦＡ検査装置カンパニー副カンパニー長）安井広美
経営管理本部長兼人事部長（ＩＴＳ情報装置事業本部営業本部中部支社長）中北洋
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(2016年6月29日)
取締役検査装置担当、ＦＡ検査装置カンパニー長、森本安和
取締役管理・企画担当、経営管理本部長、中村昭秀
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(2016年6月下旬)
取締役、中村昭秀
取締役、森本安和
監査役、松井悟
退任（常勤監査役）間瀬憲治
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