(2023年7月1日)
CorporateInnovation本部デジタルデザインセンター長、副本部長、横森憲敬
CorporateInnovation本部デジタルデザインセンター副センター長兼システム開発部長（SDCシステム開発部長）戸田哲哉
CorporateInnovation本部DX企画推進部長（デジタルトランスフォーメーション推進部長）松山科子
アプリケーション開発一部長、魚山和哉
アプリケーション開発二部長、飯嶋織行
先端技術開発一部長（SDCAI開発部長）松沢貴仁
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(2017年8月1日)
技術戦略本部先端データ企画部長（塗布・洗浄ＢＵプロダクト戦略部長）横森憲敬
技術戦略本部コーポレートプロジェクト部次世代戦略企画プロジェクトプロジェクトリーダー（技術戦略本部コーポレート次世代戦略企画室長）木下喜夫
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(2016年7月1日)
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼コーポレート製品開発副担当）取締役兼常務執行役員、鄭基市
開発副本部長（開発・生産本部副本部長兼塗布・洗浄担当）取締役兼常務執行役員、飽本正巳
常務執行役員グローバル・フィールド本部統括副本部長（執行役員ＳＤＢＵＧＭ）大久保豪
常務執行役員塗布・洗浄ＢＵＧＭ（執行役員ＣＴＢＵＧＭ）池田世崇
常務執行役員（執行役員）ＦＳＢＵＧＭ、春原清
成膜ＢＵＧＭ（ＴＰＳＢＵＧＭ）執行役員、多田新吾
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長（コーポレート開発部門副担当兼技術開発センター長）常務執行役員、保坂重敏
執行役員先端半導体技術部門担当兼ＢＵプロジェクト兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング（ＳＰＥマーケティング部門担当兼ＳＰＥマーケティング兼パターニングソリューションプロジェクトリーダー）関口章久
製品開発センター長（技術開発センター副センター長）川上聡
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