(2019年11月1日)
コンプライアンス部長、倉本健
SPE事業本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）稲垣直樹
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(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
プロセスインテグレーションセンター長（開発・生産本部コーポレートプロジェクト部 プロジェクトリーダー）稲垣直樹
開発・生産本部開発戦略部担当部長（戦略推進部長）山口光行
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(2016年2月1日)
コーポレート製品開発・製品開発部門担当、取締役兼常務執行役員開発・生産本部長、佐々木貞夫
コーポレート製品開発副担当（コーポレート開発部門担当）取締役兼常務執行役員開発・生産本部副本部長、鄭基市
製品開発部門副担当、執行役員、田原好文
革新技術企画部門担当兼革新技術企画室長（コーポレート開発部門副担当兼技術開発センター長）常務執行役員、保坂重敏
執行役員先端半導体技術部門担当兼ＢＵプロジェクト兼グローバル開発センター長兼技術マーケティング（ＳＰＥマーケティング部門担当兼ＳＰＥマーケティング兼パターニングソリューションプロジェクトリーダー）関口章久
製品開発センター長（技術開発センター副センター長）川上聡
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(2015年4月1日)
マーガリン事業部家庭用マーガリン営業、橋立勝行
大阪支社業務用販売（北陸支店長）芦田健
北陸支店長、稲垣直樹
四国支店長、小林良行
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