(2023年10月1日)
欧米ビジネス担当兼ULVACTechnologiesPresident&CEO、上席執行役員営業本部長、近藤智保
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(2021年7月1日)
半導体・電子機器事業部長（電子機器事業部長）常務執行役員品質システム部長、島田鉄也
常務執行役員（上席執行役員）財務部長、青木貞男
営業統括兼半導体事業開発担当（半導体装置事業部長）上席執行役員、近藤智保
FPD事業部長（FPD・PV事業部長）執行役員、清水康男
DX企画推進部長（生産システム部長）福川幸司
戦略企画室付（上席執行役員技術情報担当）斉藤一也
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(2020年7月1日)
社長（代表取締役兼執行役員社長人財センター長）岩下節生
副社長グループ会社統括（取締役兼執行役員副社長経営推進センター長兼関連会社担当）本吉光
専務新ビジネス創成・サービスビジネス担当（取締役兼専務執行役員新ビジネス創成センター長）末代政輔
専務イノベーション担当兼アルバック・ファイ社長（取締役兼常務執行役員イノベーションセンター長）白忠烈
上席執行役員財務部長（取締役兼執行役員経営推進センター財務・経理部長）青木貞男
常務執行役員（執行役員）電子機器事業部長、島田鉄也
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(2017年7月1日)
会長（代表取締役兼執行役員社長）小日向久治
代表取締役兼執行役員社長（取締役兼専務執行役員経営企画室長）岩下節生（いわした　せつお）
経理部・財務部・知財・法務部担当（本社部門統括）取締役兼執行役員副社長、坊昭範
事業企画本部長兼事業企画統括兼グローバル市場・技術戦略室担当（グローバル事業企画室長兼関連会社統括）取締役兼専務執行役員、本吉光
超材料研究所担当（グローバル市場・技術戦略室・半導体電子技術研究所担当）常務執行役員、白忠烈
常務執行役員（執行役員）ＦＰＤ・ＰＶ事業部長、佐藤重光
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