(2016年10月1日)
取締役相談役（会長）石田敬輔
事業開発室・開発部・知財グループ担当（技術開発本部長）取締役、塩尻和也
顧問、野上良忠
フォトマスク事業本部営業本部長（営業本部副本部長）吉田豊
フォトマスク事業本部生産本部長（頂正科技総経理）橋本昌典
京都工場長（滋賀工場長）フォトマスク事業本部生産本部副本部長、平尾匡
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(2014年12月19日)
取締役（監査役）堀修史
監査役、中野雄介
相談役（取締役）野上良忠
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(2011年10月1日)
社長（専務）石田昌徳（いしだまさのり）
取締役相談役（社長）野上良忠
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