(2014年4月1日)
執行役専務営業統括本部長兼ＣＭＯ（執行役常務）科学・医用システム事業統括本部長、梶本敏夫
同ＣＨＲＯ兼ＣＲＯ（日立製作所執行役常務）御手洗尚樹
同経営戦略本部長兼ファインテックシステム業務本部長兼ＣＳＯ（日立ハイテクノロジーズアメリカ社長）宮崎正啓
執行役常務電子デバイスシステム事業統括本部長（執行役電子デバイスシステム事業統括本部評価システム設計開発本部長）木村勝高
同商事統括本部長（日立ハイテクノロジーズヨーロッパ社長）長尾英則
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、笠戸地区設計・生産本部長、大本博秀
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