(2023年7月1日)
後工程事業本部長（後工程事業本部副本部長）常務執行役員、秋山啓一
常務執行役員（執行役員）GlobalSales本部副本部長、神永文彦
常務執行役員（執行役員）GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼ファイナンスユニットGM兼財務・、川本弘
人事総務ユニットGM、執行役員法務コンプライアンスユニットGM、阿曽達也
執行役員第二開発生産本部長、CorporateInnovation本部副本部長、神原弘光
執行役員、ES副BUGM、樋口公博
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(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2020年10月1日)
ITユニットGM（IT本部長）執行役員業務改革プロジェクトサブリーダー兼業務改革推進二部長、七沢豊
人事総務ユニットGM兼総務部長（人事部長）土井信人
人事部長、河野通尚
法務コンプライアンスユニットGM兼法務部長（総務部長）阿曽達也
ファイナンスユニットGM、経理部長兼財務部長、笹川謙
情報システム部長、山田浩由
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(2016年1月1日)
ＣＳＲ推進室長（営業企画管理部部長代理）荻野裕史
（ＣＳＲ推進室長）総務部長、阿曽達也
東京エレクトロン宮城開発部門統括部長（プロダクトマーケティング部長）神原弘光
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