(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2020年4月1日)
事業統括本部インキュベーションセンター長、取締役兼専務執行役員事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員事業統括本部光源事業部副事業部長、河本雅人
事業統括本部システムソリューション事業部EUV事業部門ビジネス統括部長、執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長、井ノ迫伸啓
ウシオテクノラボ長、浅見幸雄
経営統括本部経営戦略部門経営企画部長（秘書室長）西尾哲也
経営統括本部人事総務戦略部門人事部長、人事総務戦略部門長、丸岡史明
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(2019年6月26日)
経営統括本部人事総務戦略部門長（人事総務戦略部門次長）丸岡史明
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(2017年4月1日)
上級執行役員バイオメディカル事業部担当（執行役員）システムソリューション事業部長、川村直樹
執行役員システムソリューション事業部ＥＵＶ事業化プロジェクトリーダー、システムソリューション事業部次長兼マーケティング＆イノベーション部門長、井ノ迫伸啓
グループ上級執行役員（グループ執行役員）中野哲男
社長統括本部経営戦略部門経理財務部長（財務戦略部長）次長、小田聡樹
社長統括本部人事総務戦略部門次長（人事総務戦略部長）丸岡史明
社長統括本部人事総務戦略部門人材戦略部長、流郷紀子
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