(2023年10月1日)
経営統括本部事業創出本部研究開発部門長兼調査部長、上級執行役員事業創出本部長兼マーケティング部門長、井ノ迫伸啓
経営統括本部事業創出本部研究開発部門副部門長、基盤技術開発部長、亀井宏市
事業統括本部生産本部製造部門第一製造部長、IndustrialProcess事業部SHGBU技術部長、河野洋一
IndustrialProcess事業部第三製造部長（第七製造部長）石沢達雄
IndustrialProcess事業部第五製造部長（第三製造部長）萬谷信彦
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(2023年4月1日)
経営統括本部グループ経営戦略部門長、取締役兼常務執行役員兼CFO経営統括本部長、朝日崇文
経営統括本部事業創出本部マーケティング部門長、上級執行役員事業創出本部長、井ノ迫伸啓
事業統括本部IndustrialProcess事業部長（牛尾貿易上海総経理）執行役員、安部建吉
事業統括本部PhotonicsSolutions・グローバルビジネスユニット長、グループ執行役員、ウィリアム・F・マッケンジー（William F. Mackenzie）
経営統括本部グループ人事総務戦略部門副部門長、ESG推進本部ESG推進室長、今井貴紀
経営統括本部グループ経営戦略部門法務部長、礒部直孝
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(2022年4月1日)
CEO、社長兼執行役員社長、内藤宏治
執行役員副社長兼COO（専務執行役員インキュベーションセンター長）代表取締役事業統括本部長兼システムソリューション事業部長、川村直樹
常務執行役員事業統括本部副本部長兼光源事業部長（グループ上級執行役員クリスティデジタルシステムズ社長）取締役、神山和久
常務執行役員兼CFO（上級執行役員）取締役経営統括本部長、朝日崇文
専務執行役員（グループ専務執行役員）徳広慶三
ESG推進本部長（事業統括本部副本部長兼光源事業部長）常務執行役員、中野哲男
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(2021年4月1日)
上級執行役員事業統括本部システムソリューション事業部EUVビジネスユニット長（執行役員システムソリューション事業部副事業部長兼EUV事業部門長）ビジネス統括部長、井ノ迫伸啓
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