(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
...続きを見る

(2022年6月21日)
コーポレートオフィサー、社長兼CEOCorporateInnovation本部長、河合利樹
コーポレートオフィサー、代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
取締役会議長（専務執行役員GlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当）取締役、布川好一
コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長兼内部統制担当（取締役GlobalBusinessPlatform本部副本部長兼東京エレクトロンBP取締役兼東京エレクトロンエージェンシー取締役）常務執行役員長、久保達也
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員AccountSales本部長、池田世崇
コーポレートオフィサー（取締役）常務執行役員SPE事業本部長、三田野好伸
...続きを見る

(2021年9月1日)
コーポレート生産本部長（EHS・品質・調達・生産技術部門担当）代表取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
コーポレート生産本部副本部長兼GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）福島弘樹
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）井上久司
コーポレート生産本部GM（EHS・品質・調達・生産技術部門GM）立山清久
CTSPS営業一部長（サーフェスプレパレーションシステム営業部長）西新哲也
CTSPS営業二部長（クリーントラック営業部長）三浦公也
...続きを見る

(2020年6月23日)
代表取締役（取締役）専務執行役員第一開発生産本部長兼第四開発生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
アドバイザー（執行役員輸出物流管理本部長）佐々木健夫
アドバイザー（執行役員業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）清水正
...続きを見る