(2021年6月30日)
取締役（監査役）内野敏幸
取締役（監査役）熊谷均
取締役（監査役）中田裕人
取締役、鶴田雅明
退任（取締役）近藤博昭
退任（監査役）城戸一幸
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(2018年4月1日)
電子機械事業部事業戦略本部事業企画部長、石黒認
電子機械事業部グローバルサービス統括本部長、グループ運営戦略室長、内野敏幸
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング本部長、矢野雅彦
電子機械事業部グローバルサービス統括本部フィールドエンジニアリング部長、高道健
生産統括本部量産設計本部第三成膜装置設計部長、竹林雄二
生産統括本部製造本部生産技術部長、高島克美
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(2017年4月1日)
経営戦略室長（経営戦略統括本部スマトラ推進プロジェクトリーダ）関忠彦
法務・ＣＳＲ本部長兼法務室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部戦略法務室長）奥吉章二
法務・ＣＳＲ本部広報室長、佐々木和哉
法務・ＣＳＲ本部コンプライアンス室長（経営戦略統括本部ＣＳＲ本部広報室長）長、岡実
経理本部東京経理部長、経理本部副本部長、小野寺隆
経理本部財務部長、有田昌弘
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(2016年10月1日)
電子機械事業部グローバル戦略本部長（グローバル戦略本部副本部長）内野敏幸
映像・通信事業部設計統括本部映像装置設計本部映像処理設計部長、映像装置設計本部長、高橋克己
映像・通信事業部ソフト設計本部組込ソフト推進室長、武藤哲
映像・通信事業部営業統括本部担当本部長（グローバル統括本部副本部長）中村真二
映像・通信事業部設計統括本部映像装置設計本部映像処理設計部担当部長（映像処理設計部長）大波雄一
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