(2020年4月1日)
研究開発センター長、中島邦雄
生産技術センター長兼生技開発兼品質推進部長、春日政雄
調達企画部長、中村彰司
研究開発兼アドバンスト・テクノロジー担当部長、須田正之
知的財産部長、岩崎文晴
経営企画部環境推進担当部長兼品質推進部品質支援担当部長、光岡靖幸
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(2017年11月21日)
事業開発センター長、代表取締役兼専務執行役員精密メカトロ事業本部長、石井俊太郎
技術開発本部長、取締役兼執行役員、小林哲
生技開発センター長（生産技術本部長）執行役員精密メカトロ事業本部副本部長兼精機事業部長、木原弘之
技術開発本部コア・テクノロジー開発室部長（研究開発センターデバイス技術開発部長）吉田宜史
技術開発本部アドバンスト・テクノロジー開発室部長（研究開発センター要素技術開発部長）須田正之
技術開発本部マテリアル・プロセス開発室部長（研究開発センター基盤技術開発部長）恒吉潤
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