(2012年6月1日)
半導体露光装置事業部長（営業本部長）執行役員副プレジデント、馬立稔和
企画本部長、事業企画部ゼネラルマネジャー、小田島匠
企画本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー（営業本部営業管理部ゼネラルマネジャー）宮岡久泰
半導体露光装置事業部営業本部長（生産本部製造管理部ゼネラルマネジャー）山石裕之
半導体露光装置事業部営業本部営業第三部ゼネラルマネジャー、荘司真理
半導体露光装置事業部生産本部長補佐兼製造管理部ゼネラルマネジャー（営業本部サービス戦略部ゼネラルマネジャー）石塚伸之
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