(2022年4月1日)
バリューチェーンソリューション事業統括本部副統括本部長（Lumada事業推進室長兼産業ソリューション事業統括本部副統括本部長）専務執行役員兼CLBO、三浦英俊
専務執行役員バリューチェーンソリューション事業統括本部長（常務執行役員兼CDO）CMO兼DXプロジェクト本部長、谷口昌弘
専務執行役員兼CSO経営戦略本部長（常務執行役員兼CTOイノベーション推進本部長）禰寝義人
CDO兼DXプロジェクト副本部長、常務執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部長兼ライフ&メディカルシステム営業本部長、高木由充
CHRO兼CRO人事総務本部長（日立製作所人財統括本部システム&サービスCHRO兼人事総務本部長）飯塚毅
常務執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部長（執行役員ナノテクノロジーソリューション事業統括本部副統括本部長兼評価解析システム製品本部長）小室修
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(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2017年10月1日)
科学・医用システム事業統括本部サービス戦略本部プロダクトサポート部長、鈴木信雄
科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部調達部長、小松広
科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部設計支援センタ主管技師、清水利彦
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