(2017年9月28日)
監査役、宇都宮功
常務執行役員（取締役兼常務執行役員）生産本部長、小田木秀幸
退任（監査役）大塚一実
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(2015年7月1日)
執行役員副社長（専務執行役員）取締役、坊昭範
専務執行役員関連会社統括兼グローバル事業推進室担当（常務執行役員グローバル生産企画室担当）取締役経営企画室長、本吉光
専務執行役員営業統括（常務執行役員ＦＰＤ・ＰＶ事業部・市場開拓室・営業管理室担当）取締役営業本部長、末代政輔
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(2014年7月1日)
常務執行役員（執行役員人事部担当）取締役経営企画室長、本吉光
常務執行役員電子機器事業部担当（執行役員）取締役営業本部長、末代政輔
生産本部長兼調達センター・生産技術センター・環境・安全部担当（営業本部副本部長兼半導体装置事業部・電子機器事業部・産業機器事業部担当）取締役兼執行役員、小田木秀幸
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(2013年7月1日)
グローバル生産企画室担当（総務部担当）取締役兼執行役員経営企画室長、本吉光
営業本部長兼規格品事業部・マテリアル事業部・市場開拓室・営業管理室担当（生産統括室・情報システムセンター担当）取締役兼執行役員、末代政輔
営業本部副本部長兼産業機器事業部担当、取締役兼執行役員、小田木秀幸
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(2012年7月1日)
規格品事業部・マテリアル事業部・環境・安全部担当（マテリアル事業本部長）副社長、砂賀芳雄
半導体電子技術研究所・半導体装置事業部・情報システムセンター担当（半導体装置事業部長）取締役、五戸成史
グローバル生産推進本部長兼FPD・PV事業部・生産統括室担当（FPD事業部長兼PV事業部担当）取締役、末代政輔
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