(2022年6月17日)
社長兼社長執行役員、川口章
副社長兼副社長執行役員（法務・コンプライアンス部長）中野直広
常務兼常務執行役員、産業第三システム事業部長、沢田尚正
取締役兼執行役員経営企画本部長（経営企画本部副本部長）西原平
取締役アドバイザー（常務執行役員経営企画本部長）多々良真司
取締役、白石貴之
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(2017年6月23日)
社長執行役員、社長、山脇雅彦
副社長執行役員、副社長パワーエレクトロニクスシステム事業部長、菊池秀彦
常務兼常務執行役員（取締役）経営企画本部長、多々良真司
執行役員、取締役技術統括部長、城地慎司
常務執行役員（常務）産業第三システム事業部長、小林永芳
執行役員（取締役）内部監査室長、桜井秀樹
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(2016年6月30日)
社長、山脇雅彦（やまわきまさひこ）
副社長（取締役）パワーエレクトロニクスシステム事業部長、菊池秀彦
常務（取締役）産業第三システム事業部長、小林永芳
取締役（副社長）城地慎司
経営企画本部長（回転機システム事業部長）取締役、多々良真司
産業第二システム事業部長（経営企画本部長）取締役、植草和彦
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(2015年4月1日)
監査（監査部次長）佐川雅彦
同部次長、有働昭彦
同、森一徹
経営企画室副室長（ＦＡ・Ｓ事業本部ＦＡ・Ｓ業務兼Ｃ）宮田芳和
ＩＴ戦略室長（開発本部開発業務兼Ｃ）木槻純一
関係会社（半導体・デバイス事業本部半導体・デバイス業務兼Ｃ）小池宏之
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