(2016年10月1日)
取締役相談役（会長）石田敬輔
事業開発室・開発部・知財グループ担当（技術開発本部長）取締役、塩尻和也
顧問、野上良忠
フォトマスク事業本部営業本部長（営業本部副本部長）吉田豊
フォトマスク事業本部生産本部長（頂正科技総経理）橋本昌典
京都工場長（滋賀工場長）フォトマスク事業本部生産本部副本部長、平尾匡
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(2015年10月1日)
取締役事業開発室担当（事業開発室担当事業開発室長）兼清原光学代表取締役、向田泰久
管理本部長、執行役員、向田泰久
フォトマスク事業本部生産本部副本部長（生産本部）滋賀工場長、平尾匡
事業開発室長（事業開発室副室長）一井洋孝
（管理本部長）清原光学 取締役、末松久人
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(2014年10月1日)
技術開発本部長（開発部担当）取締役、塩尻和也
執行役員（顧問）向田泰久
生産本部京都工場長（滋賀工場長）生産本部長、平井健策
事業推進室長（生産本部副本部長兼京都工場長）中村一志
生産本部滋賀工場長（滋賀工場副工場長）平尾匡
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