(2024年4月1日)
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー（事業統括本部IndustrialProcess事業部EUVGBU技術開発統括部長）渡辺英典
光プロセス事業部EUVプロジェクトサブリーダー、麻生義典
光プロセス事業部要素技術開発チームリーダー、寺本雄介
光プロセス事業部量産技術開発チームリーダー、森本俊一
新技術開発チームリーダー、芦沢則孝
事業創出本部研究開発部門長、渡辺誠
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(2022年9月29日)
取締役、沢田由香
退任（取締役）森本俊一
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(2022年7月1日)
技術部長、取締役工場長、渡辺円
営業部担当部長（営業部次長）椙山晃
（技術部長）取締役、森本俊一
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(2018年9月27日)
社長（上席執行役員）中村和志（なかむら　かずし）
取締役、三ツ知製作所社長、森本俊一
取締役、三ツ知春日井取締役工場長兼技術・、渡辺円
顧問（社長）荒木直人
退任（常務）樋口哲也
退任（取締役）浅井好彦
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