(2014年3月31日)
顧問（執行役常務人事総務本部長）大楽義一
技監（執行役専務電子デバイスシステム事業統括本部長）田地新一
退任（執行役専務）増山正穂
同（執行役常務）杉山秀司
同（執行役）富岡秀起
同（同）水谷隆一
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(2012年4月1日)
ファインテックシステム事業統括本部ファインテックシステム営業本部長、執行役常務ファインテックシステム事業統括本部長、加藤重和
執行役常務（執行役）モノづくり統括本部長兼那珂地区生産本部長、杉山秀司
執行役モノづくり統括本部副統括本部長（那珂地区生産本部副本部長）富岡秀起
同商事統括本部副統括本部長（日立ハイテクノロジーズアメリカ副社長）水谷隆一
特命顧問、風巻成典
コーポレートアドバイザ、諫早公二
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