(2022年7月1日)
副社長（専務執行役員第四開発生産本部長）コーポレートオフィサー第一開発生産本部長兼コーポレート生産本部長兼山梨事業所長、佐々木貞夫
専務執行役員人事総務ユニットGM（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalBusinessPlatform本部長、長久保達也
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーAccountSales本部長、池田世崇
専務執行役員（常務執行役員）コーポレートオフィサーSPE事業本部長、三田野好伸
専務執行役員フィールドソリューション事業本部長（常務執行役員）コーポレートオフィサーGlobalSales本部長、大久保豪
常務執行役員（執行役員）第二開発生産本部長、児島雅之
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(2021年5月1日)
CorporateInnovation本部長代理（開発企画推進部長）開発戦略部長、瀬川澄江
CorporateInnovation本部副本部長、東京エレクトロン九州執行役員、北野淳一
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、岡崎浩
CorporateInnovation本部長補佐（CorporateInnovation本部副本部長）アライアンス戦略室長、関口章久
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(2020年4月1日)
CorporateInnovation本部開発企画推進部長、開発戦略部長、瀬川澄江
チーフ・コンプライアンス・オフィサー、コンプライアンス部長、倉本健
第一開発生産本部PF開発部長、若林真士
大阪支社長兼GlobalSales本部GM、中村裕司
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(2017年4月1日)
開発・生産本部開発戦略部長（開発企画部長）瀬川澄江
開発・生産本部コーポレート技術マーケティング部長（東京エレクトロン九州統括部長兼プロセス技術部長）山口忠之
開発・生産本部革新技術企画室長（開発・生産本部 革新技術企画室室長代理）岩渕勝彦
プロセスインテグレーションセンター長（開発・生産本部コーポレートプロジェクト部 プロジェクトリーダー）稲垣直樹
開発・生産本部開発戦略部担当部長（戦略推進部長）山口光行
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