(2014年10月1日)
営業本部長兼グローバル営業統括部長、執行役員、田島寛敏
新川上海半導体機械総経理（グローバル営業統括部長）北林靖基
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(2014年6月27日)
会長（社長）執行役員、西村浩
社長兼執行役員（取締役兼常務執行役員グローバル技術サービス部長）営業本部長、長野高志（ながのたかし）
取締役兼執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当、経営企画部長兼経理部長、森琢也
執行役員、新川半導体機械股?総経理、田島寛敏
顧問（代表取締役兼専務執行役員経営企画部・人事総務部・経理部担当）田辺哲也
グローバル技術サービス部長、森谷伸治
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(2012年4月1日)
タイ工場準備室担当、専務兼執行役員、田辺哲也
営業本部長（営業本部副本部長兼営業第二部長）常務兼執行役員、長野高志
タイ工場準備室長（品質保証部長）執行役員、藤野昇
フリップチップ営業部長兼営業第二部長（営業第一部長兼フリップチッププロジェクト室長）田島寛敏
営業第一部長、北林靖基
技術管理部長、二上輝
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