(2014年10月1日)
取締役兼最高技術責任者、オリヴィエ・ヴァテール
監査役、谷田研一
経営企画、岡本昭彦
統轄部長、大塚純二
副統轄部長、チャールズ・ペチュレスキー
同、ルーク・チャン
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(2012年10月1日)
半導体機器カンパニー製造統轄部副統轄部長、購買・、矢彦宏二
法務・知財センター知財グループ法務・知財企画、松永康之
ＳＥＢＡＣＳ常務（半導体機器カンパニー生産管理統轄部長）田中嘉一
ＦＡＳＳＥ常務（同統轄部副統轄部長）藤木達司
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