(2016年6月30日)
監査役（顧問）依田文夫
退任（監査役）穴村隆志
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(2013年6月28日)
常務総合企画（取締役丸亀事業所長）篠原旬一
常務（取締役）姫路事業所長、西村幸信
設計ＳＬ事業推進室長、取締役名古屋事業所長兼基板・ＬＳＩ事業部副事業部長、山下昭裕
営業統括部長（営業統括部副統括部長）取締役、清沢孝雄
取締役、酒井潔
同神戸事業所長兼産業システムＳＬ事業推進室長、一枝圭祐
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