(2021年5月7日)
開発本部副本部長（第二開発担当）常務執行役員AOI研究開発部長、米沢良
開発本部副本部長、執行役員FIB研究開発部長兼AI研究開発部長、水村通伸
第二開発担当（第四開発担当兼アニール研究開発部長）執行役員、後藤順
アニール研究開発部長、小杉純一
生産本部副本部長兼CS部長（技術本部副本部長兼リペア技術部長）執行役員、伊藤行男
製造部長（生産部長）竹下正雄
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(2019年6月26日)
代表取締役兼社長執行役員（社長）杉本重人
執行役員、取締役、天日和仁
執行役員、取締役、神沢幸宏
専務執行役員（専務）梶山康一
専務執行役員（常務）勝原隆
常務執行役員（常務）米沢良
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(2017年7月14日)
ＶＴカンパニー新世代技術研究開発担当（第一開発担当）専務、梶山康一
ＶＴカンパニー第一開発担当（第二開発担当兼第三研究開発）常務、米沢良
執行役員ＶＴカンパニー第一開発担当補佐兼第一研究開発部長、張尚敦
ＶＴカンパニー第三開発担当兼第三研究開発（第一開発担当補佐兼第一研究開発）執行役員、水村通伸
執行役員企画担当、企画部長・、飯野仁
執行役員、ＶＴカンパニー調達本部副本部長兼調達管理部長・、大淵一人
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(2015年6月25日)
第一開発担当（開発担当）専務、梶山康一
常務第二開発担当（執行役員）第三研究開発・、米沢良
取締役、城戸淳二
常勤監査役（取締役業務担当）和田正
業務担当兼関係会社管理室長、執行役員技術本部長、天野勇
第一開発担当補佐（開発担当補佐）執行役員第一研究開発・、水村通伸
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