(2022年4月1日)
営業・業務統括センター副担当（営業・業務統括センター担当）取締役兼専務執行役員、福山幸一
特命グローバルマーケティング担当（EM事業ユニット担当兼Scanning系事業部門長）常務執行役員、大蔵善博
営業・業務統括センター・フィールドソリューション事業担当（デマンド推進本部担当兼営業・業務統括センター副担当）同、小林彰宏
常務執行役員経営企画担当、長塚淳
常務執行役員（執行役員）医用機器事業部長、藤野清孝
同EM事業ユニット担当兼Scanning系事業部門長（同EP事業ユニット長）金山俊克
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(2021年4月1日)
CTO（デジタルソリューションズ事業部担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
CAO兼CRO経営管理本部長（人事・総務本部長兼リスク管理・経営監査部担当）代表取締役兼専務執行役員、小田島匠
経営監査部・サステナビリティ戦略部・ITソリューション本部担当、取締役兼専務執行役員兼CFO、徳成旨亮
常務執行役員兼CMO（執行役員半導体装置事業部副事業部長）生産本部長、石塚伸之
常務執行役員社長室長兼光学本部担当（同光学本部長）大村泰弘
執行役員、半導体装置事業部開発統括部長、森田真弘
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(2020年4月1日)
デザインセンター・デジタルソリューションズ事業部担当（次世代プロジェクト本部・コンポーネント事業室担当）代表取締役兼社長執行役員兼CEO、馬立稔和
代表取締役兼専務執行役員経営監査部・情報セキュリティ推進部・知的財産本部担当（取締役兼常務執行役員）人事・総務本部長、小田島匠
取締役（代表取締役兼副社長執行役員兼CFO）岡昌志
専務執行役員BtoB事業統括兼ガラス事業室担当（常務執行役員産業機器事業部・エンコーダ事業室担当）FPD装置事業部長、浜田智秀
常務執行役員（執行役員）映像事業部長、池上博敬
専務執行役員兼CFO財務・経理本部担当、徳成旨亮
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(2017年6月29日)
光学本部・研究開発本部担当、代表取締役兼社長執行役員、牛田一雄
経営戦略本部長兼知的財産本部担当、代表取締役兼副社長執行役員兼ＣＦＯ、岡昌志
ヘルスケア事業部担当（ヘルスケア事業担当）取締役兼常務執行役員、岡本恭幸
取締役兼常務執行役員人事・総務本部長（執行役員人事・総務本部副本部長）小田島匠
取締役兼常務執行役員経営戦略本部副本部長（執行役員）財務・経理本部長、萩原哲
相談役（会長）木村真琴
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