(2017年4月1日)
事業部門管掌（ソリューション事業本部長兼技術・品質・デバイスシステム事業・海外事業推進・特命プロジェクト担当）専務、春日井孝道
人事担当（人事部長）常務、天田政章
ソリューション事業本部長兼ＩＣＴ・モニタリング事業推進兼ソリューション事業開発統括部長（名古屋支社長）常務、相田易宏
環境・品質本部長兼統合管理部長兼品質企画部長（技術・品質本部長兼品質管理統括部長）取締役、小川義明
関西支社副支社長（ソリューション事業本部副事業本部長兼システム・ソリューション推進統括部長兼システム・エンジニアリング部長）取締役、中村真敏
人事部長、中村一夫
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(2016年4月1日)
技術・品質本部長兼品質管理統括部長（品質企画部長）小川義明
技術・品質本部副本部長兼ソリューション技術統括部長（ソリューション事業本部技術戦略統括部長）鵜飼典彦
ソリューション技術統括部ソリューション第一技術部長（ソリューション事業本部システム・ソリューション事業部ＯＡ・リビングシステム部長）馬場信好
ソリューション技術統括部ソリューション第二技術部長（ソリューション事業本部ＡＤＡＳ・開発環境システム部長）松村保明
ソリューション技術統括部デバイス応用技術部長（ソリューション事業本部技術戦略統括部副統括部長）稲田博
ソリューション事業本部企画業務部長（グローバル戦略統括部事業企画部長）大竹俊裕
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(2013年4月1日)
ＦＡ・環境システム事業本部ソリューション統括部長、取締役ＦＡ・システム事業部長、山崎秀治
半導体・デバイス事業本部第二事業部長（第一営業本部長）取締役、渡辺康雄
半導体・デバイス事業本部第一統括部長（産業デバイス営業本部長）取締役、有田和昭
海外事業推進室東南アジア戦略局長、東京支社ＦＡ・システム第二部長、常盤泰丸
海外事業推進室東アジア戦略局長、与五沢一元
ＦＡ・環境システム事業本部グローバル戦略統括部長、企画部長、中村真敏
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(2011年11月1日)
グローバルマーケティング統括部長（技術企画部長）鵜飼典彦
グローバルマーケティング統括部ソリューション開発部長（半導体・デバイス第二営業本部開発技術部長）稲田博
半導体・デバイス第二営業本部技術営業部長、神谷清司
北関東支社半導体・デバイス部長、中村英男
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