(2019年7月1日)
CorporateInnovation本部長代理（CorporateMarketing担当）常務執行役員、堤秀介
CorporateInnovation本部DigitalTransformation担当（CorporateMarketing情報技術担当）執行役員、西垣寿彦
CorporateInnovation本部副本部長兼アライアンス戦略室長、関口章久
プロセスインテグレーションセンター長、大久保和哉
コーポレート技術マーケティング部長、早川崇
SDC装置開発部長（システム開発センター長）石沢繁
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(2019年6月19日)
東京エレクトロンエージェンシー取締役兼東京エレクトロンUSホールディングス取締役兼東京エレクトロンヨーロッパ取締役兼東京エレクトロンコリア監事兼東京エレクトロン台湾監事兼東京エレクトロンシンガポール取締役兼東京エレクトロン上海監事兼東京エレクトロン上海ロジスティックセンター監事兼東京エレクトロン昆山監事（東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役）取締役兼専務執行役員、布川好一
東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ監査役兼東京エレクトロン九州監査役兼東京エレクトロン宮城監査役兼東京エレクトロンBP監査役、常勤監査役、田原計志
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(2019年6月18日)
取締役（監査役）布川好一
取締役、池田世崇
取締役、三田野好伸
社外取締役、江田麻季子
監査役（顧問）田原計志
退任（取締役）東哲郎
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(2019年6月18日)
第四開発生産本部長兼EHS・品質・調達・生産技術部門担当兼山梨事業所長、取締役兼専務執行役員第一開発生産本部長、佐々木貞夫
業務改革プロジェクト担当兼業務改革プロジェクトリーダー（業務改革プロジェクト副担当兼業務改革プロジェクトサブリーダー）取締役兼常務執行役員フィールドソリューション事業本部長、春原清
取締役兼専務執行役員ファイナンス本部・輸出物流管理本部・内部統制担当（常勤監査役）布川好一
エグゼクティブアドバイザー（取締役兼専務執行役員）飽本正巳
常務執行役員業務改革プロジェクト・グローバルコミュニケーション担当（同兼専務執行役員業務改革プロジェクト副担当）業務改革プロジェクトサブリーダー、堀哲朗
常務執行役員（執行役員）FPD事業本部長兼新製品プロジェクト部長、松浦次彦
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