(2013年9月26日)

取締役、専務執行役員、 坊昭範 　>

監査役、 大塚一実 　>

退任（取締役） 中野佳信 　>

退任（監査役） 野中孝男 　>

退任（監査役） 坂口進 　>

常務執行役員、 中村静雄 　>

常務執行役員（執行役員） 岩下節生 　>

出典： https://ir.ulvac.co.jp/ja/ir/newsrelease/PressRelease-4487834828499087815/main/0/link/File176750192.pdf

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