(2016年6月17日)

取締役、執行役社長、 丸山寿 　>

社外取締役、テスト技術研究所代表取締役・セミコンダクタポータル取締役・日本産業パートナーズ取締役・Mattson Technology, Inc. 取締役、 リチャード・ダイク 　>

取締役、 田中幸二 　>

退任（取締役） 川村隆 　>

出典： http://www.hitachi-chem.co.jp/cgi-bin/japanese/release_show.cgi?ID=439

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