(2023年4月1日)
執行役員生産本部副本部長（FPD装置事業部製造部長）東福宏明
精機事業本部長（半導体装置事業部長）常務執行役員、浜谷正人
精機事業本部副事業本部長、常務執行役員FPD装置事業部長、戸口学
アドバンストマニュファクチャリング事業部副事業部長（デジタルソリューションズ事業部副事業部長）執行役員、ハミッド・ザリンガラム
アドバンストマニュファクチャリング事業部長兼次世代プロジェクト本部担当（次世代プロジェクト本部長）執行役員、柴崎祐一
精機事業本部半導体装置事業部長（半導体装置事業部副事業部長）執行役員、森田真弘
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