(2024年4月1日)
開発・基盤技術センター担当、取締役兼専務執行役員、田沢豊彦
専務執行役員（常務執行役員）取締役、矢口勝基
EX事業ユニット担当、常務執行役員Scanning系事業部門長、金山俊克
常務執行役員（執行役員）生産部門長、矢塚慎太郎
IE事業ユニット担当、執行役員、塩田将司
ソリューション開発センター担当、執行役員科学・計測機器サービス事業部長、飯沼力夫
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