(2019年4月1日)
常務技術推進（取締役情報システム兼ALL―MEE設計推進室長）木槻純一
常務（取締役）静岡事業所長、小西広繁
メカトロシステム事業部長、取締役姫路事業所長、森兼宏幸
取締役（京都事業所機構技術部長）京都事業所長、石井良典
取締役、メディアシステム事業所長、桜井光一
取締役e―ソリューション&サービス事業部長、島顕洋
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(2015年4月1日)
社長、吉永徹（よしながとおる）
常務経営企画（取締役名古屋事業所長兼基板・ＬＳＩ事業部副事業部長）設計ソリューション事業推進室長、山下昭裕
同産業システムソリューション事業推進室長（取締役）神戸事業所長、一枝圭祐
取締役相談役（社長）近藤誠
取締役、経理・、笠原幸宏
同、和歌山事業所長、木村正
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(2013年6月28日)
常務総合企画（取締役丸亀事業所長）篠原旬一
常務（取締役）姫路事業所長、西村幸信
設計ＳＬ事業推進室長、取締役名古屋事業所長兼基板・ＬＳＩ事業部副事業部長、山下昭裕
営業統括部長（営業統括部副統括部長）取締役、清沢孝雄
取締役、酒井潔
同神戸事業所長兼産業システムＳＬ事業推進室長、一枝圭祐
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(2013年6月21日)
社長（副社長）町田精孝
副社長（常務）経営企画本部長兼グローバル戦略統括センター長兼輸出管理室長、松浦敏明
取締役相談役（社長）櫟原潤一
取締役、経営企画本部副本部長、小林永芳
同、総務・、桜井秀樹
同、経理・、金井隆
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