(2024年4月1日)
取締役、藤田陽子
退任（取締役）小貫博史
執行役員内部統制・品質保証本部長（品質保証部長）箕手広彰
内部統制・品質保証本部内部統制部長（人財総務本部総務部長）青木亮
内部統制・品質保証本部品質保証部長、田島裕司
執行役員ビジネスマーケティング本部長 （横河電機マテリアル事業本部長）谷口剛
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(2021年4月1日)
社長、八橋弘昌（やつはし　ひろまさ）
業務革新本部長（生産性改革室長）取締役兼常務執行役員、塚原泰樹
退任（社長）村井哲也
業務革新本部生産性改革室長、仙田雄二
ソリューションビジネス本部エネルギーマネージメントビジネスセンター長、執行役員ソリューションビジネス本部長、勝木雅人
ソリューションビジネス本部半導体サービスセンター長、ミニマル部長、永井亨
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