(2020年6月25日)
常勤監査役、朝妻克也
監査役、太内義明
退任（常勤監査役）加藤仁
監査役事務、上遠野孝文
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(2015年4月1日)
広報・ＣＳＲ、山本真義
電材加工事業本部薄膜材料事業部化合物半導体ユニット長、三浦浩
同事業部主席技師兼企画（化合物半導体ユニット長）平野立一
日立事業所総務、日立事業所副所長、小松崎寛
同銅箔製造、山西敬亮
倉見工場副工場長、設備技術・、佐藤裕彦
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