(2020年4月1日)
管理本部仙台管理部長、下山真理
営業本部システムソリューション統括部RFSプロジェクトリーダー、沢口将輝
ATEビジネスグループT2000事業本部ADTプロダクトユニットNGENプロジェクトリーダー、上林弘典
ATEビジネスグループT2000事業本部メモリテスト事業本部BIプロダクトユニット第1開発部長、譲原章政
DH事業本部NTCプロジェクトリーダー、DH開発統括部長兼DI開発部長、山下和之
DH事業本部DI設計部長、DH設計統括部長、鈴木康仁
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(2019年6月26日)
AppliedResearch&VentureTeamBBN&ChinaLabリーダー、取締役兼常務執行役員ATEビジネスグループリーダー兼AppliedResearch&VentureTeamリーダー、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
サプライチェーン統括部長、取締役兼常務執行役員生産本部長、塚越聡一
取締役管理担当、常務執行役員管理本部長、藤田敦司
顧問（取締役兼執行役員副社長カスタマリレーションズ担当兼営業本部長）明世範
DH事業本部担当（T2000事業本部長）常務執行役員ATEビジネスグループサブリーダー兼メモリテスト事業本部長、津久井幸一
AppliedResearch&VentureTeamUSLabリーダー兼SystemTestBusinessUnitリーダー、常務執行役員、ダグラス・ラフィーバ
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(2016年6月28日)
専務執行役員ナノテクノロジー担当兼ナノテクノロジー事業本部長（常務執行役員企画・渉外担当兼社長室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）取締役、吉田芳明
社長室長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー、常務執行役員、津久井幸一
ナノテクノロジー事業本部副本部長（テクノロジー開発本部長）執行役員、関野隆
管理本部事業総務部長、下山真理
事業推進本部標準化推進部長、塙隆宏
メモリテスト事業本部第２開発部長、坂井満
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