(2024年4月1日)
SCI本部副本部長（管理本部長）佐藤昌明
CTC事業部CTC技術統括部プローブ技術部長（CTC事業部CTC技術部次長）小林俊介
FC事業部事業管理部長（FC事業部事業管理部次長）小林忠正
MD事業部事業企画室部長（MD事業部事業企画室次長）吉田弘毅
技術本部知的財産部長（技術本部知的財産部次長）根岸武志
コア技術開発本部接点材料研究開発部長（コア技術開発本部マイクロ波研究開発部次長）佐藤賢一
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(2023年4月1日)
インキュベーションセンター長兼地域貢献担当（VCCS事業部担当）取締役兼執行役員常務、横尾健司
インキュベーションセンタープラットフォーム事業推進兼人財育成センター長、執行役員技術本部副本部長兼VCCS技術統括部長、坂田毅
インキュベーションセンター先端デバイス事業推進部長（FC事業部長）執行役員、松浦元昭
購買本部長（購買本部部長）江尻等
VCCS事業部VCCS技術統括部VCCS技術部長（ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部ＶＣＣＳ技術部次長兼ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部原価企画室次長）郷清二
VCCS事業部VCCS技術統括部原価企画室部長（ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部ＶＣＣＳ技術部次長兼ＶＣＣＳ事業部ＶＣＣＳ技術統括部原価企画室次長）林健太郎
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(2021年3月10日)
取締役、中山秀人
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