(2024年3月23日)
常勤監査役（財務法務本部業績担当本部長）本川仁
退任（常勤監査役）中峯敦
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(2020年3月28日)
常勤監査役（コーポレートオフィサーグローバル本部副本部長）中峯敦
監査役、山田啓二
監査役、田辺智子
退任（常勤監査役）宇野敏彦
退任（監査役）石角完爾
退任（監査役）石田敬輔
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(2018年1月1日)
副会長兼グループCOOグループ経営監査室長（副社長経営戦略本部長）斉藤寿一
グローバルＡＴＳボードリーダー（営業本部長）取締役、長野隆史
品質安全統括センター長（ホリバＭＩＲＡ会長）執行役員、河邨浩
グローバル本部副本部長（業務改革推進センター長）執行役員、中峯敦
グローバル本部副本部長兼海外エリア戦略部長（営業本部副本部長）西分英行
営業本部長（営業本部副本部長）本川仁
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(2014年1月6日)
業務改革推進センター長（グループ生産統括室長）執行役員、中峯敦
品質保証統括センター長兼グループ品質統括室長兼品質改革推進部長（科学・半導体事業戦略室長）ジュニアコーポレートオフィサー部長、佐竹司
営業本部海外営業統括副本部長兼海外営業部長（堀場中国貿易総経理）ジュニアコーポレートオフィサー部長、西分英行
開発本部新製品担当副本部長（開発本部副本部長兼アプリケーション開発センター長）ジュニアコーポレートオフィサー部長、臼井誠次
営業本部環境・プロセス担当副本部長、経営戦略本部環境・プロセス事業戦略室長、中村新哉
経営戦略本部科学・半導体事業戦略室長、西方健太郎
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