(2024年1月1日)
開発本部テクノロジーイノベーションセンター長、コーポレートオフィサー開発本部長兼R&Dプランニングセンター長、中村博司
グループ戦略本部Energy&EnvironmentTaskForceAlternativeEnergySolutions担当（AlternativeEnergySystem担当）エネルギー・環境本部副本部長、森春仁
グループ戦略本部MobilityTestSolutions担当（ConventionalEnergySystem担当）エネルギー・環境本部長、鶴見和也
財務法務本部副本部長、多鹿淳一
グループ戦略本部Energy&EnvironmentTaskForceConsultancy&AppliedSolutions担当（Engineering&DataSolutions担当）エネルギー・環境本部副本部長、中西秀樹
財務法務本部副本部長、営業本部副本部長、向井保夫
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(2019年1月1日)
グローバル本部副本部長（生産本部副本部長）西村公志
営業本部ATSSalesPromotion兼MIRAプロジェクトマネジャー、営業本部長、本川仁
管理本部経営企画室長（経営管理部企画担当部長）吉見信彦
管理本部グローバル人事部長（グローバル人事部副部長 ）加藤法生
管理本部グローバル本部副本部長（開発本部副本部長兼開発企画センター長）速水雅明
管理本部事業企画開発部長、業務改革推進部長、橋本純平
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(2014年1月6日)
業務改革推進センター長（グループ生産統括室長）執行役員、中峯敦
品質保証統括センター長兼グループ品質統括室長兼品質改革推進部長（科学・半導体事業戦略室長）ジュニアコーポレートオフィサー部長、佐竹司
営業本部海外営業統括副本部長兼海外営業部長（堀場中国貿易総経理）ジュニアコーポレートオフィサー部長、西分英行
開発本部新製品担当副本部長（開発本部副本部長兼アプリケーション開発センター長）ジュニアコーポレートオフィサー部長、臼井誠次
営業本部環境・プロセス担当副本部長、経営戦略本部環境・プロセス事業戦略室長、中村新哉
経営戦略本部科学・半導体事業戦略室長、西方健太郎
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(2013年6月1日)
経営戦略本部環境・プロセス事業戦略室長（ホリバ・インスツルメンツシンガポール社長）中村新哉
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