(2022年8月1日)
技術管理部長、伊藤隆久
シニア・テクノロジー・エグゼクティブ（スペシャリティー技術統轄部副統轄部長）三河巧
洗浄開発統轄部装置要素技術開発二部長（スペシャリティー技術統轄部技術開発部長）鰍場真樹
洗浄開発統轄部装置モジュール開発二部長（スペシャリティー技術統轄部製品開発部長）天久賢治
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(2021年4月1日)
SCREENSPETaiwan董事長兼総経理、代表取締役兼社長執行役員、後藤正人
経営戦略担当、取締役兼常務執行役員経営戦略統轄部長、石村学
技術開発担当、常務執行役員技術管理統轄部長、田中真人
ポストセールス担当（SCREENSPETaiwan董事長兼総経理）執行役員、西田啓二
営業担当（グローバルセールス統轄部アジア営業一部長）執行役員グローバルセールス統轄部長、成瀬務
製造担当（ST統轄部長）執行役員、長谷川公二
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(2019年10月1日)
技術管理統轄部長（TS製品統轄担当兼CCS製品統轄部長）常務執行役員、田中真人
HR・インフラ統轄部インフラ推進部長（HR・インフラ部長）執行役員HR・インフラ統轄部長、今井渉
HR・インフラ統轄部HR・経営推進、馬杉耕二郎
グローバルセールス統轄部国内営業部長（アカウント営業二部長）蛯名雅彦
グローバルセールス統轄部フロンティア営業部長、グローバルセールス統轄部副統轄部長、宮島吉宏
品質統轄部品質推進部長、影山貴浩
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(2019年4月1日)
取締役、石川義久
監査役、島純子
退任（取締役）沖勝登志
退任（取締役）灘原壮一
退任（取締役）近藤洋一
執行役員、グローバルセールス統轄部長兼アカウント営業一部長、成瀬務
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