(2021年8月1日)
SVCMarketingandBusinessDevelopment部担当（DeviceHandlingMarketingandBusinessDevelopment部担当）執行役員営業本部副本部長兼AppliedResearch&VentureTeamSBRグループリーダー、中原真人
経営企画本部コーポレートコミュニケーション統括部ESG推進室長、浅見俊子
営業本部SVCMarketingandBusinessDevelopment部長（DeviceHandlingMarketingandBusinessDevelopment）伊東武志
DH事業本部DH開発統括部DM技術部長、土井敦之
DH事業本部DH設計統括部DH設計部長（DI設計部長）DH事業本部DH設計統括部長、佐川慎
DH事業本部DH企画統括部DH制御技術部長、鈴木克彦
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(2020年8月1日)
ATEビジネスグループメモリテスト事業本部長（T2000事業本部長兼EXCプロダクトユニット統括部長兼EGLプロジェクトリーダー）執行役員、鈴木雅之
営業本部システムソリューション統括部メモリSE部長（メモリテスト事業本部副本部長兼AMプロダクトユニット統括部長兼メモリソフトウエア統括部長）橋本純
ATEビジネスグループテクノロジー開発本部テクノロジー統括部副統括部長兼第11開発部長（メモリテスト事業本部副本部長兼BIプロダクトユニット統括部長）三浦武雄
ATEビジネスグループテクノロジー開発本部テクノロジー統括部第4開発部長（第8開発部長）野口安由
ATEビジネスグループテクノロジー開発本部テクノロジー統括部第8開発部長（第4開発部長）野嶋修二
ATEビジネスグループT2000事業本部長兼EGLプロジェクトリーダー（ソフトウエア統括部長）足立敏明
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(2018年6月27日)
執行役員副社長カスタマリレーションズ担当（専務執行役員営業担当）取締役営業本部長、明世範
取締役テストテクノロジー担当、常務執行役員、ハンス・ユルゲン・ヴァーグナー
取締役サプライチェーン担当、常務執行役員生産本部長、塚越聡一
新企画商品開発室長（ＣＳＲ・環境推進センタ副センタ長兼新企画商品開発室副室長兼ＰｏｗｅｒＤｅｖｉｃｅＥｎａｂｌｉｎｇＧｒｏｕｐリーダー）常務執行役員社長室長、津久井幸一
常務執行役員事業推進本部長兼事業革新統括部長（執行役員事業革新本部長）加藤俊介
常務執行役員管理本部長（執行役員管理本部副本部長兼経理部長）藤田敦司
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(2016年5月1日)
メカニカル生産技術、佐川慎
ナノテクノロジー生産技術、小林義仁
ものづくり企画統括部長（アウトソーシング推進）生産本部副本部長、小野明
ものづくり企画統括部アウトソーシング、市川睦
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