(2023年4月1日)
常務執行役員（執行役員）イノベーションユニット長、小林邦裕
常務執行役員電子機材ユニット長兼基盤事業支援ユニット長（執行役員電子機材ユニット副ユニット長兼電子機材海外事業部長）相田智之
常務執行役員工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット副ユニット長（執行役員中部支社長）飯塚浩幸
プラントエンジニアリングセンター長（オンサイト・プラントユニット長兼プラントエンジニアリングセンター副センター長）執行役員、柳川徹
中部支社長（経営企画・ICT・ユニット長）執行役員、竹内聡一郎
執行役員、メディカルユニット長、古海敏恵
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(2021年4月1日)
技術全般担当（エンジニアリング本部長）取締役兼専務執行役員、上原正弘
常務執行役員コーポレートユニット長（執行役員）取締役人事部長、亘聡
工業ガスユニット長兼基盤事業支援ユニット長（産業ガス事業本部長）常務執行役員ガス事業部長、栗下敏一
常務執行役員プラントエンジニアリングセンター長（執行役員エンジニアリング本部副本部長兼PEセンター所長）佐藤豊幸
常務執行役員技術統括ユニット長（執行役員技術本部長）三木健
イノベーションユニット長（イノベーション事業本部長）執行役員、小林邦裕
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(2020年7月1日)
生産・物流本部管理統括部長（プロダクト管理部長）企画業務部長、宇杉晃一
生産・物流本部技術統括部長（プロダクト技術部長）内城保
生産・物流本部管理統括部プロダクト管理部長、日野淳
生産・物流本部技術統括部生産技術部長、高山孝治
生産・物流本部技術統括部品質保安部長、高橋陛
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(2020年6月1日)
生産・物流本部プロダクト技術部長（富士酸素常務工場長）内城保
エンジニアリング本部PECメンテナンス企画部長、高橋歳男
関西支社京滋支店長、吉田勝也
周南酸素常務工場長（生産・物流本部プロダクト技術部長）若穂囲和人
九州冷熱に出向、中村章寛
仙台サンソセンターに出向（エンジニアリング本部GSC部長）田中政宏
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