(2021年4月1日)
社長執行役員（専務執行役員兼CDO兼CLBO兼DXプロジェクト本部長兼Lumada事業推進室長）飯泉孝
CMO産業ソリューション事業統括本部副統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長、専務執行役員、三浦英俊
専務執行役員（常務執行役員）産業ソリューション事業統括本部長、唐沢和男
専務執行役員（常務執行役員）CFO財務本部長兼DXプロジェクト副本部長、桜井真司
常務執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部長兼ライフ&メディカルシステム営業本部長（執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部副統括本部長兼医用システム営業本部長）高木由充
常務執行役員モノづくり統括本部長（執行役員アナリティカルソリューション事業統括本部那珂地区生産本部長）CTrOモノづくり戦略本部長、高根淳
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(2019年4月1日)
執行役専務兼日立ハイテクファインシステムズ社長（執行役常務）モノづくり戦略本部長、本田穣慈
CFO財務本部長（CIO兼CTrO）執行役常務、桜井真司
産業ソリューション事業統括本部長（先端産業部材事業統括本部長）執行役常務、田嶋浩
執行役常務兼CDO（執行役産業システム事業統括本部長兼日立ハイテクソリューションズ社長）飯泉孝
CSO（日立ハイテクノロジーズ韓国会長）執行役、加藤仁
産業ソリューション事業統括本部副統括本部長（先端産業部材事業統括本部副統括本部長）執行役、三善慶太
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(2016年4月1日)
輸出管理責任者兼サービス・ソリューション事業推進本部長、執行役専務科学・医用システム事業統括本部長、池田俊幸
ＣＴＯ、執行役電子デバイスシステム事業統括本部長、木村勝高
執行役専務リスクマネジメント責任者兼ＣＲＯ（執行役常務）ＣＦＯ財務本部長、宇野俊一
執行役常務モノづくり戦略本部長（執行役）モノづくり・品質保証責任者兼科学・医用システム事業統括本部那珂地区生産本部長、本田穣慈
日立ハイテクサイエンス社長（科学・医用システム事業統括本部科学システム営業本部長）執行役科学・医用システム事業統括本部副統括本部長、岡田務
執行役電子デバイスシステム事業統括本部副統括本部長、評価装置営業本部長、石和太
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